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高精度适于量产的紫外光纤激光器
日期:2014年01月16日 访问: 编辑:fa 来源:www4288com新萄京赌场

高精度适于量产的紫外光纤激光器
企业新推出的紫外光纤激光器(DaytonaTM 355-20),可以输出1 ns,重复频率1 MHz,功率高于20W的脉冲(中心波长为355 nm)。其精度加工能力相当于短脉冲皮秒激光器与高效的调Q半导体泵浦固体激光器的结合体。Daytona输出的TEM00(M2<1.3)光束是精确微加工的理想选择。此外,Daytona系列提供了非常灵活可变的操作平台,可以完美的匹配到具体的加工应用中。其脉宽为1ns到20ns可调,重复频率从单脉冲到2MHz可调。
      去除边缘热损伤(热损伤区域HAZ)微加工的关键在于,使用短波长激光实现低温光挥发效应,使用短脉冲来限制激光烧蚀过程中的热传导。传统的调Q紫外激光器输出的脉冲宽度在几十纳米量级,在很多应用过程中产生了不可接受的HAZ。在Daytona投向市场之前,唯一的替代选项是使用皮秒激光器,但是由于这类激光器在紫外区域功率不足,无法满足工业上量产的需求。Daytona是第一台同时满足这类应用中所需的加工精度和输出功率的激光器。
独有的特性使得这类工业应用受益匪浅,大大的拓宽了量产的精加工的材料范围。例如晶圆的切割,划片和钻孔(特别是针对低κ的材料),触摸屏和LCD的玻璃划片,触摸屏刻蚀,以及用于光伏(太阳能板)制造业的薄膜划片。

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